中國國家電子級超純水GB/TII446.1－1997標準

 指標\級別

 EW－Ⅰ

 EW－Ⅱ

EW－Ⅲ 

EW-Ⅳ

 電阻率 MΩ，cm(25℃)

18以上，（95％時間）不低于17

15，（95％時間）不低于13

 12.0   

0.5   

 全硅，zui大值,μg/L

2

10

50

1000

 ＞1μm微粒數，zui大值，個/mL

0.1

5

10

500

 細菌個數，zui大值，個/mL

0.01

0.1

10

100

 銅，zui大值，μg/L

0.2

1

2

500

 鋅，zui大值，μg/L

0.2

1

5

500

 鎳，zui大值，μg/L

0.1

1

2

500

 鈉，zui大值，μg/L

0.5

2

5

1000

 鉀，zui大值，μg/L

0.5

2

5

500

 氯，zui大值，μg/L

1

1

10

1000

 硝酸根，zui大值，μg/L

1

1

5

500

 磷酸根，zui大值，μg/L

1

1

5

500

 硫酸根，zui大值，μg/L

1

1

5

500

 總有機酸，zui大值，μg/L

20

100

200

1000